피에조스테이지 (1축, 2축, 3축, 하이브리드) - Piezo Stages (1 axis, 2 axis, 3 axis, Hybrid)

 

 

 

 

 

x축 이동하는 1축 나노포지셔너, xy축 이동하는 2축 나노포지셔너, xyz축 이동하는 3축 나노포지셔너를 소개합니다. 마이크로스테이지와 나노포지셔너를 결합한 하이브리드 나노포지셔너도 공급합니다.

 

- 1축 Nano Positioner : HS1, HS1 Aperture, FOC, Z-Insert, X.400, Z.500

- 2축 Nano Positioner : LT2, BIO2, LFHS2, LTHS2, LF2, TT2.5

- 3축 Nano Positioner : LT3, BIO3, LFHS3, LTHS3, CUBE3

- Hybrid System : Manual Micro Stage + BIO2, LFHS3, LT3

 

 

 

 

 

 

 

1축 Nano Positioner

 

2축 Nano Positioner

 

3축 Nano Positioner

 

Hybrid System

 

 


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