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나노탄소탐침 – 3D CD Metrology

앞장

Extreme Aspect Ratio	High Aspect Ratio	Spike small and sharp	MCNT
Enhanced Resolution	Fast Scanning	3D CD Metrokogy	EBD-TESPA AFM Probes
High Resolution AFM Probes	Life Science	Nanoindentation

나노 단위의 표면거칠기로 인한 탐침의 부작용과 상관없는 정밀한 위치와 재현성 있는 측정을 위한 구면의 선대칭 AFM 탐침

고성능 나노결각측정을 AFM 구형 탐침

정렬선이 있는 Chip, 금 피복이 되어 있는 Cantilever, 구면의 탄소tip으로 구성

SpuerSharp Enhanced 탄소탐침 사양

	CDR130-EBD	CDR70-EBD	CDR50-EBD	CDR40-EBD	CDR30-EBD	CDR20-EBD	CDR15-EBD
Material	HDC/DLC	HDC/DLC	HDC/DLC	HDC/DLC	HDC/DLC	HDC/DLC	HDC/DLC
Tip vertical edge height / VEH	10nm	10nm	10nm	10nm	10nm	10nm	10nm
Tip effective length / l	300nm	300nm	250nm	150nm	150nm	150nm
Tip total width / d	130nm	70nm	50nm	40nm	30nm	20nm
Tip overhang / OH	30nm	10nm	10nm	10nm	8nm	7nm
Tip edge radius / r	5nm	5nm	5nm	5nm	5nm	5nm
Tilt compensation	3 degrees	3 degrees	3 degrees	3 degrees	3 degrees	3 degrees
Pyramid height / PH	15um	15um	15um	15um	15um	15um	15um
Tip set back / TSB	15um	15um	15um	15um	15um	15um	15um
Cantilever Parameter
Material	Si	Si	Si	Si	Si	Si	Si
Shape	NT-RTESPA	NT-RTESPA	NT-RTESPA	NT-RTESPA	NT-RTESPA	NT-RTESPA	NT-RTESPA
Length	120um	120um	120um	120um	120um	120um	120um
Width	30um	30um	30um	30um	30um	30um	30um
Thickness	4.4um	4.4um	4.4um	4.4um	4.4um	4.4um	4.4um
Force constant	40N/m	40N/m	40N/m	40N/m	40N/m	40N/m	40N/m
Resonance frequency	320kHz	320kHz	320kHz	320kHz	320kHz	320kHz	320kHz
Tip side coating	none	none	none	none	none	none	none
Back side coating	reflex	reflex	reflex	reflex	reflex	reflex	reflex
Chip Parameter
Length	3400um	3400um	3400um	3400um	3400um	3400um	3400nm
Width	1600um	1600um	1600um	1600um	1600um	1600um	1600um
Thickness	315um	315um	315um	315um	315um	315um	315um
Alignment grooves	no	no	no	no	no	no	no

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